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熔融硅微粉发展的趋势

自20世纪70年代以来,我国硅微粉生产厂家生产硅微粉初步起步,工艺技术和设备落后,长时间处于手工制作的义务坊生产形态。今后产业发展,呈现出以下四大趋势:

  生产高度现代化。由于微电子行业对硅微粉的纯度、粒度和状的要求不时提高,生产过程中的无尘化和专用设备的开发尤为重要,需要在线监控和控制,以保证产品的高质量和高不变性。

  加快技术创新。由于高科技结晶硅微粉材料的特殊性和品种的多样性,仅仅改进传统技术和设备是远远不够的。随着现代加工技术的不断发展,如科学前沿的等离子技术、射频技术、超声技术、真空技术和光电技术应尽快融入使用。


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